青海進(jìn)口日本HORIBA流量計(jì)維修

SEC/N122JM氣體質(zhì)量流量控制器概要

日本HORIBA流量計(jì)-SEC/Z712-SEC/Z722熱感傳感器壓力鈍感質(zhì)量流量計(jì)

日本HORIBA? SEC-Z700系列熱感傳感器，壓力鈍感質(zhì)量流量計(jì)

型號(hào);

?SEC-Z712MGX? SEC-714MGX? SEC-Z722MGX? SEC-Z724MGX? SEC-Z732MGX? SEC-Z734MGX? SEC-Z742MGX? SEC-Z743MGX

概要

SEC-Z700X系列配備熱式傳感器且具有壓力不敏感性以實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定流量控制的氣體質(zhì)量流量控制器。其中前端的壓力控制可減少氣路系統(tǒng)的成本，尺寸及復(fù)雜度。

特征

多氣體/多量程解決方案客戶(hù)可更改氣體的種類(lèi)與滿(mǎn)量程

可變PID功能實(shí)現(xiàn)整個(gè)范圍內(nèi)的高速響應(yīng)（1秒內(nèi)）

簡(jiǎn)化氣路線(xiàn)無(wú)需額外增加調(diào)節(jié)器，傳感器，過(guò)濾器

穩(wěn)定控制氣體流量，不受上游端及下游端的壓力波動(dòng)影響

搭載進(jìn)氣壓傳感器

多種展示

1% S.P.的精度

潔凈設(shè)計(jì) - 金屬隔板，采用不銹鋼SUS-316L，拋光面表面處理（標(biāo)準(zhǔn)）

輕巧的尺寸

50SLM內(nèi)相同的配件尺寸

信號(hào)兼容

模擬式/RS485 數(shù)字式 , DeviceNet?模式

數(shù)字信號(hào)控制


日本HORIBA流量計(jì)概要
質(zhì)量流量計(jì)是半導(dǎo)體制造設(shè)備中關(guān)鍵的零部件。它的工作穩(wěn)定與否往往成為半導(dǎo)體制程成敗的關(guān)鍵因素。

HORIBA STEC, 作為范圍內(nèi)市場(chǎng)占有率超過(guò)35%*1的流量計(jì)生產(chǎn)商, 長(zhǎng)期以來(lái)如一的為半導(dǎo)體工業(yè)提供高質(zhì)量、多功能的產(chǎn)品?，F(xiàn)在，手?jǐn)y的技術(shù)，HORIBA STEC 正在向推廣新型的質(zhì)量流量控制器： Z500系列。

相對(duì)于舊有的型號(hào)，Z500X 系列實(shí)現(xiàn)了的突破， 而且注定將改變流量控制技術(shù)的未來(lái)。在提供客戶(hù)所需流量控制的功能的同時(shí), 實(shí)現(xiàn)了復(fù)合氣體、復(fù)合流量的轉(zhuǎn)換?？蛻?hù)可以根據(jù)制程需要，輕松地更改流量計(jì)氣體種類(lèi)和量程*2。

此外，藉由產(chǎn)品材料的技術(shù)革新， Z500系列全面滿(mǎn)足了 RoHS 綠產(chǎn)品的設(shè)計(jì)要求，為客戶(hù)提升產(chǎn)品價(jià)值。

高性能的Z500系列流量計(jì)，將帶給您更多驚喜。全世界正見(jiàn)著這一即將改變整個(gè)半導(dǎo)體工業(yè)的新型質(zhì)量流量計(jì)的誕生。

1 參考 VLSI's 2007 研究報(bào)告。
2 復(fù)合氣體、復(fù)合流量功能。

HORIBA STEC的質(zhì)量流量控制器在其精密液體流量控制里是有名的，以及擁有世界大的市場(chǎng)份額，可使用DeviceNet控制接口，符合官方要求的RoHS處理 常見(jiàn)的壓力控制器是UR-Z700系列，一款數(shù)字式自動(dòng)壓力調(diào)節(jié)器。根據(jù)不同用途，該系列還劃分為控后端壓力的UR-Z700M系列和控前端壓力的UR-Z700M-B系列。該壓力調(diào)節(jié)器通常運(yùn)用于MOCVD或CVD工藝中。在工藝過(guò)程中，當(dāng)供氣壓力突然發(fā)生變化時(shí)，管道或罐體內(nèi)的壓力也隨之發(fā)生變化，這不僅會(huì)影響整條管路流量的穩(wěn)定，甚至可能會(huì)對(duì)整臺(tái)設(shè)備的造成大威脅。針對(duì)這個(gè)問(wèn)題HORIBA集團(tuán)研發(fā)出UR-Z700系列，通過(guò)響應(yīng)，高精度，穩(wěn)定控制的性能來(lái)調(diào)整管路壓力。即使面對(duì)這種情況，只要管路裝載UR-Z700系列就能夠穩(wěn)定的控制壓力，并確保氣體質(zhì)量流量控制器及反應(yīng)源液的穩(wěn)定運(yùn)行。?

日本HORIBA流量計(jì)特征
高精度：設(shè)定流量值±1.0%.
MFC的線(xiàn)性精度是由多項(xiàng)式近似曲線(xiàn)進(jìn)行補(bǔ)償?shù)模?此技術(shù)在各控制范圍內(nèi)獲得高的控制精度. 為了改善各種實(shí)際氣體種類(lèi)的控制精度， HORIBA STEC研發(fā)了標(biāo)準(zhǔn)的氣體測(cè)量系統(tǒng)， 并在大量實(shí)驗(yàn)的基礎(chǔ)上，采集各種制程氣體的校準(zhǔn)數(shù)據(jù)。
高速響應(yīng)
SEC-Z500X 使用了開(kāi)發(fā)的“可更改PID”系統(tǒng)，任意兩個(gè)設(shè)定流量點(diǎn)之間的更改在1秒鐘之內(nèi)完成在設(shè)定不同流量時(shí)，PID數(shù)據(jù)將進(jìn)行自動(dòng)的調(diào)整，即使在氣體種類(lèi)和流量范圍變更后，PID數(shù)據(jù)也能夠自動(dòng)優(yōu)化，實(shí)現(xiàn)高速響應(yīng)。
復(fù)合氣體、復(fù)合流量方案
HORIBA STEC 新產(chǎn)品讓客戶(hù)輕松地在現(xiàn)場(chǎng)更改氣體種類(lèi)和流量成為現(xiàn)實(shí). 我們的 Z500 設(shè)置軟件簡(jiǎn)單、易用. 的是, 這些變更的完成甚至不需要將MFC從系統(tǒng)拆卸下來(lái)。 如此一來(lái)，就可以很大程度上減少客戶(hù)備品的數(shù)量，同時(shí)節(jié)省了時(shí)間和成本。

無(wú)錫飛斯卡精密科技有限公司專(zhuān)業(yè)從事各大科研院校等質(zhì)量流量控制系統(tǒng)的銷(xiāo)售與服務(wù)。是質(zhì)量、流量、壓力、真空、溫度測(cè)量與控制系統(tǒng)的專(zhuān)業(yè)供應(yīng)商。

質(zhì)量流量控制事業(yè)部專(zhuān)業(yè)從事銷(xiāo)售服務(wù)世界著名的MFC，知名品牌有：Brooks、MKS、HORIBA, UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等，品種規(guī)格齊全，同時(shí)經(jīng)銷(xiāo)真空和鍍膜設(shè)備的品牌包括：INFICON（美國(guó)mks流量計(jì),美國(guó)BROOKS流量計(jì),美國(guó)MKS真空計(jì),德國(guó)普發(fā)真空計(jì),日本HORIBA流量計(jì)），COMDEL、AE、HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源），VARIAN、PFEIFFER真空泵等；氣體壓力及流量測(cè)量和控制, 射頻/直流/微波電源發(fā)生器及測(cè)量工具, 氟離子/臭氧反應(yīng)氣體發(fā)生器,真空產(chǎn)品,氣體分析儀,靜電控制及信息和控制技術(shù)等產(chǎn)品。我們知名的氣體流量校準(zhǔn)系統(tǒng)，對(duì)任何品牌的MFC都可精確的清洗校準(zhǔn)。外觀光潔如新，性能可靠，原廠驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)。

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Wuxi Feisca Precision Technology Co., Ltd  specializes in the sales and service of mass flow control systems in major scientific research institutions. Is a professional supplier of mass, flow, pressure, vacuum, temperature measurement and control systems.

The Quality Flow Control Division specializes in the sales and service of world-renowned MFCs. Well-known brands include: Brooks, MKS, HORIBA, UNIT, Tylan, AE, STEC, Alicat, etc., with complete varieties and specifications. At the same time, the brands that distribute vacuum and coating equipment include: INFICON (American mks flowmeter, American BROOKS flowmeter, American MKS vacuum gauge, German Pfeiffer vacuum gauge, Japanese HORIBA flowmeter), COMDEL, AE, HUETTINGER (DC power supply, RF power supply, intermediate frequency power supply), VARIAN, PFEIFFER vacuum pump, etc.; Gas pressure and flow measurement and control, RF/DC/microwave power generators and measuring tools, fluoride ion/ozone reactive gas generators, vacuum products, gas analyzers, electrostatic control and information and control technology products. Our well-known gas flow calibration system can accurately clean and calibrate any brand of MFC. The appearance is clean as new, the performance is reliable, and the original factory acceptance standard.